世界初、超高圧ＵＶランプにおける環境技術「フル／ハーフ点灯方式」を実用化
― 消費電力およびCO2排出量を40％削減 ―
ウシオ電機株式会社（本社：東京都、代表取締役社長 菅田 史朗、以下 ウシオ）は、この度、超高圧ＵＶランプ※1における環境技術「フル／ハーフ点灯方式」の実用化に、世界で初めて※2成功しました。
超高圧UVランプは、主に半導体や液晶、プリント基板などのリソグラフィ（回路パターン焼付け）用光源として、各種の露光装置に搭載されています。これらの業界では、環境負荷の低減が重要な経営課題※3となっており、そのニーズに対応するため、ランプメーカ各社では、ランプの環境性能向上に向けた省電力化とCO2排出量低減化の試みが行なわれてきました。
しかし、その構造の特殊性に加え、照度や輝度、寿命などの性能維持の観点から、ワーク（被照射物）照射が不要な待機時でも、絶えず100％の電気入力を保たなければならず、その改良は極めて困難な状況でした※4。
今回、ウシオが実用化に成功した「フル／ハーフ点灯方式」は、露光に必要な超高圧UVランプの性能を損なうことなく、電気入力を稼動時は100％に、待機時は50％に抑えるという、2段階の切り替えができる点灯技術です。この環境技術「フル／ハーフ点灯方式」を採用した超高圧UVランプは、従来型と比べて40％の消費電力とCO2排出量を削減可能※5としました。
これにより、25kWの超高圧UVランプを20本使用している製造ラインの場合、消費電力量で年間約2,040,000kWh（電気代で同約2,640万円）、CO2排出量で同約780ｔの削減を実現します※6。
また、ランプの総放射熱量も抑えることから、露光装置や冷却ユニットの小型化が容易となり、更なるトータルコストの削減にもつながることとなります。
ウシオは、中期経営ビジョンの一つとして「環境負荷低減に貢献する製品の開発・提供」を掲げ、独自の環境方針※7のもと、環境性能と要求性能を両立する技術・製品開発に積極的に取り組んでおり、今後も、これらの技術・製品開発を着実に実現していくとともに、より一層、環境への貢献を推進してまいります。
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※1:ウシオは、40年以上にわたり各種超高圧UVランプを製造・販売しており、半導体や液晶、電子部品製造用における世界シェアは約75％（2010年9月末現在、当社調べ）。 ※2:2010年9月末現在、当社調べ。 ※3:これらの製造現場では、歩留まりや生産性向上のために、製造装置の大電力化が進んでおり、中でも液晶パネル製造では、パネルの大型化により露光面積は拡大を続けており、これに対応するため、超高圧ＵＶランプも、大出力化、複数使用化の傾向にあり、装置トータルの環境負荷は年々増加している。 ※4:従来の超高圧UVランプは、出力切り替えに伴う照度や寿命の低下などを避けるため、常に100％の電力入力を行なっており、ランプと照射対象物との間にあるシャッターを開閉することで対象物に紫外線を照射していた。そのため、照射が不要なシャッター閉時（待機時）にも消費電力やCO2が発生していた。 ※5:2010年9月末現在、当社従来製品比、当社調べ。 ※6:詳細は下記「環境データ」参照。 ※7：ウシオの環境への取り組みについては、こちら（www.ushio.co.jp/jp/csr/）をご覧ください。 |
製品化について
環境技術「フル／ハーフ点灯方式」を採用した超高圧UVランプについては、環境効果が最も期待できるFPD露光用大出力タイプ（25kW）の販売を2011年4月に開始し、以降、各種用途向けにも順次製品化していく予定です。
フル／ハーフ点灯方式を採用した、超高圧ＵＶランプ 25kW
環境データ
| 点灯方式 |
フル／ハーフ点灯※8 |
常時点灯（従来ランプ） |
|---|---|---|
| 消費電力量※9 |
約152,000kWh／年 |
約254,000kWh／年 |
| 電気代※10 |
約198万円／年 |
約330万円／年 |
| CO2排出量※11 |
約57t／年 |
約96ｔ／年 |
| 発光波長 |
436nm、405nm、365nm、313nm |
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| 保証寿命 |
750時間 |
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| 相対照度 |
1.0 |
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| 主な用途 |
液晶パターン形成用光源、カラーフィルタパターン形成用光源、プラズマディスプレイパターン形成用光源、プリント基板回路形成用光源、その他新規露光用途など |
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※8:露光時：定格（2秒）、非露光時：定格の半分（6秒）、1枚処理時間6ショット60秒として計算。 ※9:24時間×30日×12ヶ月×25kWランプ1本使用時の消費電力量。 ※10:1kWhあたり 13円で算出。 ※11:1kWhあたり 0.378kg-CO2で算出。 |
