世界最薄の紫外線薄型照度計「UIT-θ365」の販売を開始

―薄さ4.9mmのワイヤレスタイプで、狭い照射距離間の測定を可能に―

ウシオ電機株式会社（本社：東京都、代表取締役社長 菅田 史朗、以下 ウシオ）は、世界で最も薄い4.9mmの紫外線薄型照度計「UIT-θ365」（ユーアイティー・シータ365）の販売を、2011年12月7日より開始しますので、お知らせいたします。

半導体・液晶、精密電子部品などの製造プロセスやUV（紫外線）印刷の工程では、レジストやインクの硬化、精密部品やレンズの接着、光学フィルム※2のコーティングなどがUVで行なわれており、品質維持のための定期的なUV照度管理が必要となっています。しかし、装置条件や照射環境によって、測定そのものが難しいケースが発生しており、特に光学フィルム製造や精密部品接着において、以下の課題が指摘されています。

■光学フィルムの場合
需要の拡大に対応するため、生産性向上を目的にフィルム幅が長尺化しており、それにあわせてUV照射面積も拡大している。それに伴って、従来の小さいフィルムサイズでは問題とならなかった、UV照射量のムラによる品質のバラツキや低下が発生するのを防ぐため、UV照度管理が必要とされている。しかし、製造装置の開口部（フィルム搬入部）に高さ制限があり、また光源部とフィルム間の照射距離が狭いため、照度計の厚みの問題から測定が困難。

■精密部品接着の場合
極小面積での高密度接着を行なうため、光源部と照射対象物を近接させることで高いUV照度を維持しており、定期的なUV照度管理が必要。現在は、光源部と照射対象物との照射距離間が狭いため、照射距離間を広げて測定している。しかし、実際の照射条件（距離や角度など）と異なるため正確な測定ができない上、測定後には都度、照射条件をセッティングし直す手間が発生する。

これらの課題に対しウシオは、主に半導体・液晶製造分野で培ってきたUV測定技術を応用することで、世界最薄4.9mm、かつ煩雑な配線の取り回しが不要なワイヤレスタイプの紫外線照度計の開発に成功しました。これにより、高さ制限や照射距離間などの照射条件に因らず、実際の製造時と同一条件下での正確なUV照度測定・管理が可能となり、さまざまなUVプロセスにおける品質向上を実現します。

なお、本製品は、2011年12月7日（水）～9日（金）に、幕張メッセで開催される「Semicon Japan 2011（ブースNo.5A-606）」において、実機展示を行ないます。

※1　当社調べ。 ※2　フィルムにパターン化した凸凹をつけることで、材料そのものに「拡散・集光・反射または反射防止」などの機能（光学特性）を持たせたフィルムのこと。大型・薄型液晶モニタやタッチパネルなどのディスプレイにおいては輝度向上、光源本数の低減に伴う省エネ化・薄型化、ムラ防止など、太陽電池では集光率向上、LED照明では輝度向上といった機能がある。

測定例

主な用途

以下におけるUV照射量管理
・光学フィルム用途でのＵＶコーティング（タッチパネル用ハードコートフィルムなど）
・精密光学部品用途でのＵＶ接着（ブルーレイディスク用ピックアップレンズなど）
・印刷（オフセットやデジタル）用途でのＵＶ硬化（屋外看板やラッピングバスなど）

主な特長

1）世界最薄、4.9mmを実現
2）1台でロギング測定（ワイヤレス）、リアルタイム測定が可能
3）斜め入射の光を効率良く取り込むことが可能。
4）拡散連続光でも測定値の高繰返し再現精度を実現
5）充電を行なうことで繰返し使用可能

主な仕様

絶対値校正波長	365nm
感度波長	345nm～385nm
外形寸法（mm）	90(91)※3×25×4.9
重量	25ｇ
電源	リアルタイム測定時：USBバスパワー ロギング測定時：リチウム二次電池※4
測定対象例	LED、メタルハライドランプ、高圧UVランプ　等

※3　（）はUSBカバー装着時。 ※4　電池は本体に内蔵。本体インターフェースを介してパソコンのUSBポートに接続することで充電を行ないます。

紫外線薄型照度計「UIT-θ365」外観