Ａ5サイズのエキシマ光照射器「Min-Excimer」を販売開始
－卓上でのエキシマ光実験が低価格で可能に－
ウシオ電機株式会社（本社：東京都、代表取締役社長 菅田 史朗、以下 ウシオ）は、エキシマランプを搭載した本体がA5サイズの簡易実験用エキシマ光照射装置「Min-Excimer（以下、ミニエキシマ）」を2012年12月から販売開始します。
エキシマ光はフラットパネルディスプレイの光洗浄やプラスチックの表面改質など、さまざまな製造プロセスで用いられていますが、その発光特性から照射器内部を高純度なＮ2（窒素）で満たす必要があるため、構造上、卓上レベルでの簡易かつ柔軟な実験を行なうことができませんでした。
そこでウシオは、世界で初めて*1製品化した「エキシマランプ」をベースに、N2ユーティリティを使用しないシンプルな構造にしたことで、コンパクトな卓上タイプのエキシマ光照射器を開発しました。
これにより、従来ではスペース面、コスト面などで導入が困難だった大学や企業および研究機関でも手軽に導入でき、実験機会が増やせるため、各種産業でのエキシマ光のアプリケーション開発など、新たな応用展開が可能です。
なお、本製品は2012年12月5日（水）～12月7日（金）に、幕張メッセで開催される「SEMICON Japan 2012（ブース番号４C-704）」において、実機とパネルの展示を予定しております。
*1 自社調べ
製品外観（手前：本体、奥：専用電源）
主な特長
- シンプルな構造により、低価格を実現
- N2ユーティリティを使用しないため、卓上で手軽に実験、持ち運びが可能
仕様
| 波長 | 172nm |
|---|---|
| 照度 | 10mW/cm2以上 |
| 照射エリア | 80mm×50mm |
| 寸法 | 本体：W209mm×D148mm×H66mm 3.5kg 電源：W120mm×D210mm×H95mm 1.5kg |
| ユーテリィティ | 電源：AC100～240V±10V、0.15kVA以上、50/60Hz オゾン排気 オゾン発生量 約15mg/min 必要排気風量 1～2m3/min |
主な用途
| 機能 | 内容 | 業界 |
|---|---|---|
| 親水化 | 濡れ性改善など | 液晶等ＦＰＤ全般、半導体、機能性材料、電池、メディカルなど |
| 洗浄 | ドライ洗浄による有機物分解など | 液晶等ＦＰＤ全般、半導体、機能性材料、電池、メディカルなど |
| 密着性向上 | 濡れ性改善による密着性向上など | 半導体、封止、実装 |
| 改質 | 濡れ性改善、メッキ前処理など | 液晶等ＦＰＤ全般、半導体、機能性材料、電池、メディカルなど |
| 分解 | メタン分解/NOx分解など | 環境 |
| 酸化 | ドライ酸化膜の生成など | 半導体 |
| 成膜 | 酸化膜の生成 | 半導体、電池 |
| 架橋・重合・光配向 | Low-kキュアなど | 半導体 |
| VUV乾燥 | 脱水素/精密乾燥など | フィルム |
| 帯電除去 | 静電気除去 | フィルム、実装 |
| 蛍光 | 蛍光体色度検査など | PDP |
| 励起 | ガスの励起など | 研究・分析 |
| 生成 | 活性酸素・オゾンの生成 | 研究・分析 |
| 光CVD | CVDガス励起など | PV |