プリント基板向けダイレクト・イメージング装置 「UDIシリーズ」を開発、JPCA Show 2013で発表

- 直描方式で、次世代パッケージの解像力5µm L/S、高スループット35秒/枚を達成 -

ウシオ電機株式会社(本社:東京都、代表取締役社長 菅田 史朗、以下 ウシオ)は、コンピュータ及びネットワーク機器の次世代FC-BGA製造用、解像力5 µm L/S、スループット35秒/枚の超微細・高速ダイレクト・イメージング(DI)装置「UDI-8001P」を開発し、2013年6月5日(水)~7日(金)に東京ビッグサイトで開催される「JPCA Show 2013(ブース番号3I-03)」においてステージプレゼンテーションを行ないます。また、6月7日開催のNPIプレゼンテーションでも発表する予定です。

現在、FC-CSPをはじめとしたパッケージ基板の製造に使用されているDIは、解像力10~15 µm L/S、重ね合わせ精度±10 µm、アライメント点数が10点前後であるのに対し、「UDI-8001P」は解像力5 µm L/S、重ね合わせ精度±5 µm、アライメント点数が600点でありながら、従来機より速い、スループット35秒/枚を実現しました。これにより、FC-CSPはもちろん、従来のDIでは実現できなかった高精度なデザインルールのFC-BGAプロセスをも可能にしました。

なお、JPCA Show 2013では「UDI-8001P」の他に、解像力8 µm L/SでFC-CSP対応が可能な「UDI-8102P」も同時に発表します。

UDIシリーズ 外観

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