セルロースナノファイバー透明シート上への微細パターニングに成功

ウェアラブルセンサー、バイオデバイス等の実現に貢献

ウシオ電機株式会社(本社:東京都、執行役員社長 内藤 宏冶、以下 ウシオ)と王子ホールディングス株式会社(本社:東京都、代表取締役社長:加来 正年、以下 王子HD)は、ウシオ製プリンタブル パターニング用光源ユニット 「VUVアライナー」を用いて、王子HDが開発するセルロースナノファイバー透明シート(以下、CNF透明シート)「アウロ・ヴェール※1」上への微細パターン形成に成功しましたのでお知らせいたします。
なお、5月22日~23日にグランドホール品川で開催される「FLEX Japan 2019」および6月5日~7日に東京ビッグサイトで開催される「JPCA Show 2019」のウシオブースにて、微細パターンを形成したCNF透明シートのサンプル展示をします。

「VUVアライナー」は、ウシオが2014年に世界で初めて開発した真空紫外光による親水化パターニング方式のアライナーで、従来のリソグラフィプロセスで必要な薬液処理や複雑な工程を必要とせず、また印刷方式のパターニングでは得られない微細パターン形成を実現します。
今回、高い親水性とフレキシブル性を有する「アウロ・ヴェール」での親水化パターニングの結果、L/S=10/10μmの微細パターニングに成功しました。

これにより、今後さらなる機能性を付与することで、ウェアラブルセンサー、有機トランジスタ、バイオデバイス等への実現が期待されます。
ウシオはこれからも「光」で材料開発やプロセス開発をサポートし、フレキシブルデバイスの早期実用化に貢献してまいります。
 
※1天然由来の木質パルプから作られているため、サスティナブルな社会を実現するための素材として期待されており、ガラス並みの高い透明度を持ちながら、フレキシブル性を有し、プラスチックフィルムより高強度で高温下においても優れた低熱膨張性(高寸法安定性)を示すCNFシート。

■アウロ・ヴェール上へのパターニング




■製品画像

【ご参考】セルロースナノファイバー透明シート上への微細パターニングに成功(王子HDリリース PDF:668KB)


王子ホールディングス株式会社(本社:東京都、東証 3861)
「資本主義の父」である渋沢栄一により、1873年抄紙会社として創業。「領域をこえ、未来へ」のスローガンの下、
「革新的価値の創造」、「未来と世界への貢献」、「環境・社会との共生」という経営理念の実現を目指し、既存の概念にとらわれない新事業の拡大、新製品の開発を製紙事業の核となる自社独自の技術を用いて進めています。
今後は脱プラスチック製品の開発、セルロースナノファイバーの実用化等をさらに進めてまいります。
https://www.ojiholdings.co.jp/
 

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