超高機能紫外線積算光量計「UIT-700」を開発
業界初、1台で0.1μW～25W/cm2まで測定できる超ワイドダイナミックレンジモデル
ウシオ電機株式会社（本社：東京都、代表取締役社長 内藤 宏治、以下 ウシオ）は、業界で初めて1台で0.1μW～25W/cm2まで測定できる超高機能紫外線積算光量計「UIT-700」の開発を2023年3月末に完了する見込みとなりましたので、お知らせいたします。
なお、本製品は12月14日～16日まで東京ビッグサイトで開催されます「SEMICON Japan 2022」にて、実機展示とデモを予定しています（東5ホール ブースNo.5323）。
ウシオは従来から、光の専門メーカーとして、光源や光源を搭載した装置だけではなく、半導体やFPD、自動車部品をはじめとした各種製造プロセス向けに光測定器も提供しており、紫外線積算光量計「UIT-250シリーズ」は日本国内においてスタンダードな紫外線測定器となっています。
現在、環境負荷低減のニーズが高い産業分野や印刷、環境衛生などの様々な業界で従来以上に紫外線の活用が増えており、それに伴って紫外線測定のニーズも急速に高まっています。しかし、環境衛生分野では0.1μW/cm2という微量の漏れ光の測定ニーズがある一方、印刷業界では25W/cm2という高照度LEDの測定ニーズがあるなど、各業界で測定する紫外線の照度が幅広く、全てに対応する積算光量計がないことから、それぞれに対応した積算光量計を複数台準備する必要がありました。
そこでウシオは、標準のトレーサビリティが取れた校正体系を維持しつつ、これまで培ってきた光計測に関わる光学設計技術や電気、ソフトウェア技術などにより、測定結果の記録・管理が容易かつ1台で0.1μW～25W/cm2まで測定可能なUIT-700の開発に成功。また、CE・UKCAマーキングにも対応しており、海外への製造プロセス移管時の品質管理も容易となっています。
ウシオは今後も、光源や装置の提供から光の品質管理まで、様々な業界に貢献していきます。
■主な特長
・微弱光からハイパワーまで測定可能なワイドダイナミックレンジ対応
・視認性と操作性に優れたタッチパネル方式を採用
・二次電池採用で繰り返し充電が可能なエコ対応
・新型デジタル受光器は、ケーブル接続なしで独立して測定可能
・CE／UKCAマーキング対応モデル
■主な用途
各種用途での光量管理
・半導体／FPD市場でのUV露光、UV硬化、UV接着
・印刷市場でのUV乾燥
・環境衛生分野でのUV殺菌
■外観写真
| UIT-700 | UIT-250（従来品） | |
| 測定波長（nm） | 222、254、313、365、405、LED（365～450） | 222、254、313、365、405 |
| 測定範囲 （放射照度） |
0.1μW～10mW/cm2（222） 0.1μW～10W/ cm2（313、405） 0.1μW～25W/cm2（254、365、LED） |
0.00mW～10mW/cm2 0.000mW～999.9mW/cm2 0.00mW～9,999mW/cm2 |
| 角度特性 | COSθに近似 ※S254を除く | COSθに近似 ※S254を除く |
| 校正波長（nm） | 222、254、313、365、405、 LED（365、385、395、450） |
222、254、313、365、405 |
| 校正精度 | ±5％（S313、S365、S405、SLED） ±10％（S222、S254） |
±5％（S313、S365、S405、SLED） ±10％（S222、S254） |
| 電源 | 二次電池／USBバスパワー | 乾電池 |
| 外部通信 | RS232C／USB／ アナログ出力（RS232C コネクタの一部から出力） |
専用シリアル通信ケーブル、 アナログ出力ケーブルを使用 |
| 寸法（mm） | 80 × 148 × 30 ※照度計本体のみ（受光器は除く） |
75 × 160 × 15 |
| 安全規格 | CE EN61326-1、UKCA | － |