よくあるご質問・ご相談

定期点検や定期校正により、故障する可能性が高い箇所を予め把握することができます。ランプ電源などの経年劣化部品は、故障する前に定期的な修理や交換をお奨めします。

また、部品預託契約をご契約いただくと、お客様のお手元で部品を保管していただくことができるため、故障時の早期対応・早期復旧が可能です。

例えば、経年劣化した露光装置の場合、投影レンズのオーバーホールや新品置き換えにより解像度を向上させることができます。あわせて灯具内ミラーなどの光学部品の交換により露光量が改善され、積算露光時間を短縮することができます。

装置のオンライン化によるログの取得・遠隔操作が可能になります（リモートメンテナンス）。あわせて、お客さまが普段使われているPCに各種ツールをインストールしていただくことで、装置からPCに直接データを採取することができ、アナログの管理から効率的な管理への移行が可能です。

また、弊社サービスエンジニアをお客さまの元へ派遣し、メンテナンストレーニングやオペレーショントレーニングを実施することで、効率的なメンテナンス・オペレーションが実現できます。

移設前のデータ取りから移設後の性能確認まで、移設作業を一括サポートいたします。

また、生産ラインの自動化などの場合は、旧型制御の装置でも、ソフト改造によりオンライン化対応が可能です。

アライメント機工やワークステージの変更（メカ改造）、波長変更（光学改造）、処理時間などの仕様変更（ソフト改造）など、各種改造によって現行装置を継続利用することが可能です。