表面改質

1.大気中で使える、改質能力が非常に高い172nmを使用する。
有機物の結合を分解する為には、有機物の結合エネルギー以上の光エネルギーが必要となります。分子が吸収する（励起する）エネルギーが大きいほど反応（分解）しやすく、処理時間が短くなります。
低圧UVランプでは切れない結合エネルギーをエキシマランプの波長172nmでは分解することが可能です。

2.オゾンや活性酸素、励起状酸素原子をたくさん生成する。
低圧UVランプと比較し、エキシマランプの波長172nmは酸素分子に対する吸収係数が、低圧UVランプの185nmの約20倍あります。よって高濃度の活性酸素種の生成が可能であり、かつ酸素に直接作用して酸化力の強い励起状酸素原子を生成します。