精密洗浄、残渣除去(ダメージフリーUVアッシング) 改質洗浄 液晶・ディスプレイプリント基板・PKG機能材料MEMS・電子部品エネルギー印刷半導体バイオ・化学 界面活性剤や有機溶媒、薬液を用いた洗浄方法では取りきれない汚れを洗浄除去することが可能です。 関連製品 エキシマランプ/エキシマ光照射ユニット