表面活性化による常温接合 硬化・接着改質 エネルギーMEMS・電子部品バイオ・化学半導体印刷機能材料液晶・ディスプレイプリント基板・PKG 表面の活性化と有機物の除去により「のりなし接合」と「接合強度のアップ」を実現。 関連製品 エキシマランプ/エキシマ光照射ユニット