プリンタブルパターニング 加熱・乾燥改質露光 エネルギー機能材料バイオ・化学印刷半導体MEMS・電子部品プリント基板・PKG液晶・ディスプレイ VUV(真空紫外線)により、レジストを用いずに親撥処理にてプリンタブルパターニングを実現 関連製品 エキシマランプ/エキシマ光照射ユニット