Ushio Techno Lab 播磨
ウシオグループのマザープラントとしての役割を果たしている播磨事業所。
真空紫外～紫外から赤外までの幅広い波長照射はもちろん、ランプやレーザー、LEDなど各種光源による実験、照射後の材料分析・測定まで幅広く対応します。
■ 主な実験内容
【真空紫外光】 半導体ウェハのUVキュア・改質、フィルムの改質、フレキシブル基板への微細パターニング、ガラスやフィルムなどの洗浄・改質
【紫外光】 レジストへのパターニング、UV硬化樹脂による硬化・接着・接合
【可視光】 PIV・流体可視化、加熱・改質、プロジェクション
【赤外光】 急速加熱・改質、センシング
【分析・測定】 バンプ高さ測定、表面凹凸、流体観察 など