Ushio Techno Lab 韓国（水原技術センター）
UVランプやクセノンショートアークランプなどの各種ランプと、露光装置や光学装置など幅広い製品を販売する韓国ウシオ。
VUV照射による表面改質やUV光による硬化、さらには加熱や水処理などの実験が可能です。
| 実験 | 内容 | 対象材料 | アプリケーション | スペック |
|---|---|---|---|---|
| VUV照射実験 （搬送ステージ付き） |
エキシマランプによる表面洗浄と表面改質 | 材質不問 | 親水化、接合、改質など | 照射波長：:172nm 放射照度：170mw/cm2 搬送速度：0.15∼7.6m/min 有効照射幅：510mm |
| 半導体向VUV照射実験 （Scan照射） |
エキシマランプによる表面洗浄と表面改質 | ウェハ(直径300㎜まで) | アッシング、親水化、接合、改質など | 発行波長 ：172nm 放射発散度：100mW/㎠ 有効照射幅：340㎜ |
| VUV照射実験 （一括照射） |
エキシマランプによる表面洗浄と表面改質 | 材質不問 | 親水化、接合、改質など | 発行波長 ：172nm 放射発散度：12mW/㎠ 有効照射幅：6inch |
| ハロゲンヒータ照射実験 | ハロゲンヒータによる硬化 | 材質不問 | 硬化など | ユニットタイプ：フォーカス 電力密度：3mW/cm (MAX：9mW/cmまで調節) 有効照射幅：300mm |
| SPIR照射実験 | IR波長まで対応可能なSPOT硬化 | 材質不問 | 硬化など | 発行波長：300∼1000nm 放射発散度：900mW/㎠以上(UVD-S405、1分岐FIBER、照射距離50mm) 有効照射幅：62.6mm(1分岐FIBER、照射距離50mm) |
| UV CURE照射実験 | コンベアステージのUV CURE照射 | 材質不問 | 硬硬化など | ランプ出力：8kW 搬送速度：0.6∼0.48m/min 有効照射幅：500mm |
| 水処理実験 | 工程水の一般細菌及びTOC除去 | 半導体、ディスプレイ、 製薬市場など |
TOC除去、殺菌など | 処理能力：3.1ton/h(UVT94%, 一般細菌) |
| 非加熱殺菌実験 | UV照射による殺菌 | 飲料他の液体物 | 殺菌 | 照射波長：280nm LED出力：30mw×25個 液体容量：約10ℓ |
| UV AOP実験 | UVを活用する高度酸化処理 | 下・廃水 | 水質改善 | 装備構成：オゾン＋UV+活性炭 処理能力：1ton/h |