投影露光技術

ウシオの投影露光技術
光源から光学・搬送技術までトータルに

専用に開発した高出力ランプと、マスクダメージレスな投影露光を採用し、基板収縮対応、ビルドアップ、多層パターンの高精度な重ね合わせを実現するウシオの投影露光装置。
シリコンウェーハ、ガラス基板、セラミック基板、ロール基板、プリント基板など、さまざまな基板に対応するウシオの大面積投影露光の要素技術をご紹介します。