投影露光装置の生産能力増強のお知らせ

投影露光装置の生産能力増強のお知らせ

ウシオ電機株式会社(本社:東京都、代表取締役社長 内藤 宏治、以下 ウシオ)は最先端ICパッケージ基板の更なる需要増に対応するため、分割投影露光装置(UX-5シリーズ)の生産能力増強の設備投資を決定しましたので、下記の通りお知らせいたします。

今回の投資は2019年に続くもので、IoTの進展に伴い、大容量かつ高速でのデータ処理に対応したデータセンター向けサーバーの需要等が想定を上回っており、それに伴い高い解像性や重ね合せ精度が求められるICパッケージ基板の要求も増加しているため、同基板向け露光装置の更なる増産に向けた投資が必要と判断をいたしました。

ウシオは今後も、IoTの進展による便利・快適な社会の実現に向け「光」で貢献していきます。

<設備投資の概要(予定)>
(1)投資内容  : 最先端ICパッケージ基板向け投影露光装置の生産スペースの拡張(御殿場事業所内)
(2)投資総額  : 15億円(予定)
(3)場  所  : 御殿場事業所(静岡県御殿場市)
(4)生産能力  : 既存の生産能力を約1.3倍以上に増強
(5)スケジュール: 2021年度上期 レイアウトの変更、生産設備の増強開始
           2022年度上期中 生産能力1.3倍以上での生産開始 


 

                            御殿場事業所                                                      分割投影露光装置(UX-5シリーズ)

 

■ご参考

2019年5月9日発表「投影露光装置の生産能力増強のお知らせ」
https://www.ushio.co.jp/jp/news/1001/2019-2019/500442.html
 

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