温度制御が可能なハロゲンヒータランプ「マルチフィラメント・ヒータ®」を発売

― 半導体、太陽電池用途 ―

ウシオ電機株式会社（本社：東京都、代表取締役社長：菅田 史朗、以下　ウシオ）は、半導体、太陽電池の成膜工程、熱処理工程に使用されるハロゲンランプで、基板面内を部分的に温度制御ができるマルチフィラメント・ヒータ®を開発し、7月より発売を開始することを決定いたしましたので、お知らせします。

マルチフィラメント・ヒータ®は、円筒型の石英製封体の中に3本のフィラメントが一軸に配列された、直管型ハロゲンランプです。直線的に配置された3本のフィラメントは、ランプの両端、中央部の３箇所で異なる温度に設定ができ、さらにフィラメントごとに任意の設定温度に調整することが可能です。

従来、ウェハなどの基板を加熱する際は、中心部より外周部の温度が下がりやすく、従来のハロゲンヒータを用いた加熱は、温度均一性を確保する事が困難である問題があり、またウェハ以外の部分も加熱してしまうため、消費電力が無駄になっていました。

マルチフィラメント・ヒータ®は、温度が下がりやすい周辺部を独立フィラメントにより温度を高めに設定するなど、必要な光を必要な場所に必要な量だけ最適に加熱することが可能で、省エネルギーに役立つだけでなく、CoO低減にも貢献します。

特長

1.マルチフィラメント構造により、高精度な面内温度コントロールが可能です。

2.基板形状にマッチした理想的な発光分布が得られます。

3.ウェハ・ガラス等の基板周辺部を、独立フィラメントで温度制御できます。

4.直管型ランプにより、長寿命、高効率、低消費電力、イージーメンテナンスが可能です。

点灯時のマルチフィラメント・ヒータ® - 中央部が低温部、両端が高温部 -