フレキブルデバイス向けVUVアライナー エントリーモデルの販売を開始

ウシオ電機株式会社（本社：東京都、執行役員社長 内藤 宏冶、以下 ウシオ）は、ウシオが世界で初めて開発した真空紫外光による親水化パターニング方式アライナー「VUVアライナー(SUS740)」のエントリーモデル「VUVエクスポージャー(SUS971)」の販売を7月より開始いたしますので、お知らせいたします。

ウェアラブルセンサーや有機TFTデバイス、バイオデバイスをはじめとした新規フレキシブルデバイスの創出においては、フォトマスクやパターンの欠陥検査、マスク洗浄、エッチングやレジスト剥離といった煩雑な工程や薬液処理負担を極力排した低環境負荷かつ低コストでの微細加工技術が求められています。
これに対し、2014年に製品化したウシオの「VUVアライナー（SUS740）」は、親水化パターニング方式により基板と非接触でリソグラフィーと同等の微細配線が実現できることが評価され、またマスクアライメント機能も搭載していることから、親水化パターニング試験のみならず積層デバイス試作までが行えるアライナーとして販売してきました。
その中で、より手軽に導入・活用できるモデルの開発要望が寄せられたことから、搭載機能をVUV平行光によるパターニング機能に限定することで、導入しやすい価格帯を実現したエントリーモデル（将来的にマスクアライメント機能を付加し従来モデルへのバージョンアップも可能）を開発し販売を開始することとなりました。
これにより、ウェアラブルセンサー、有機TFTデバイス、バイオデバイス等の研究開発がより広範に、かつ加速することが期待されます。

ウシオはこれからも「光」で材料開発やプロセス開発をサポートし、フレキシブルデバイスの早期実用化に貢献してまいります。
なお、本製品は6月5日から7日まで東京ビッグサイトで開催される「JPCA Show 2019（ブースNo.3-159）」にて、パネル展示をします。

■主な特長
① 露光性能は従来機のままにシンプルな装置構成。

② 機能限定により導入しやすい価格帯。将来的なバージョンアップも可能。

③ 手元で調整可能な着脱式ステージによりマスクとサンプルの扱いやすさが向上。

■仕様

ラインナップ	VUVアライナー（発売中）	VUVエクスポージャー （2019年7月発売）
型式	SUS740	SUS971
波長	150～200nm	150～200nm
露光エリア	φ30mm	φ30mm
設置寸法	(680(W)＋113)×700(D)mm  (電源含まず)	600(W)×253(D)mm  (電源含まず)
手動アライメント機能	あり （①XYZΘステージ②アライメント顕微鏡）	なし
ユーティリティ	AC100V，N2:10NL/min	AC100V，N2:10NL/min
主用途	デバイスの試作	露光基礎評価・材料の開発
外観