卓上走査電子顕微鏡（卓上SEM）の販売を開始

製造現場で観察・計測・元素分析が可能

ウシオ電機株式会社（ウシオ）はこの度、日本電子株式会社（JEOL）の製品である卓上走査電子顕微鏡（卓上SEM）「JCM-7000 NeoScope™」を、エレクトロニクス分野をはじめ、材料・食品・繊維・樹脂等の製造現場において観察・計測・元素分析が可能なオンサイト検査装置として販売いたします。

卓上SEMは、エレクトロニクスや自動車・機械、化学・薬品を主体とした様々な分野で利用が拡がっており、特に製造現場においてはオンサイトでの微細検査や元素分析のほか、品質管理、製品検査における一次スクリーニングに活用が進んでいます。
本製品はこれらのニーズに最適化した卓上SEMであり、ハイスループットでありながら、省スペースかつシンプルで使いやすい操作性を実現。また、光学カラー画像からSEM観察像へのシームレス（継ぎ目の無い）操作に加え、SEM観察をしながらリアルタイムでの元素分析が可能です。
これにより、光学顕微鏡では困難な「組成の異なる異物の検出」や「透明な物質の表面観察」、「元素分析」を製造現場で実現します。

ウシオは、エレクトロニクスをはじめ様々な分野に光源や製造装置、検査・測定機器等をご提供してまいりましたが、今後ますます複雑化・多様化していくプロセスに対応するためには、生産性・信頼性の観点からも製造現場での迅速な検査・計測が必須と考えており、現在、検査・計測分野への提案力・製品力強化を進めています。
そのような中、+αのソリューションとして本製品をオンサイト検査装置として展開することで、よりお客様のニーズに応え、世の中の技術革新に貢献していきます。

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■主な特長
・モーターステージを標準搭載
2軸モーターステージ（X、Y）により、観察したい場所をマウス操作（クリック）することで、自動的にステージが移動。

・新開発のSNS(ステージナビゲーションシステム※オプション)で光学像の取り込みが自動化
色情報を含むCCD画像と表面詳細情報が得られるSEM像が連動する「Zeromag機能」により、素早く快適な視野探しが可能。

・LV(低真空)機能を2段階に強化
2段階のLVモードにより、帯電しやすい試料や、微量の水分を含む試料も、前処理無しで観察可能。

・SEM観察中にリアルタイムで元素分析が可能
観察中も常に元素分析結果が表示される「Live Analysis機能」を搭載。効率の良い元素分析が可能。

・SEMでありながら凹凸形状の検出が可能
「Live3D機能」によりSEM観察をしながらその場で３D像を構築。凹凸・深さ情報の取得が可能



■製品画像

 

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