オールインワン オンサイト卓上検査装置

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ハイスループットでありながら、省スペースかつシンプルで使いやすい操作性を実現した日本電子製卓上SEM(JCM-7000)です。光学カラー画像からSEM観察像へのシームレス(継ぎ目の無い)操作が可能なだけでなく、SEM観察しながらリアルタイムで元素分析が可能です。
光学顕微鏡では困難な「組成の異なる異物の検出」、「透明な物質の表面観察」、「元素分析」を製造現場で実現します。

モーターステージを標準搭載

 2軸モーターステージ(X,Y)により、観察したい場所をマウス操作でクリックすれば自動でステージが移動します。 


新開発のSNS(ステージナビゲーションシステム※オプション)で光学像の取り込みが自動化

 色情報を含むCCD画像と表面詳細情報が得られるSEM像が連動するZeromag機能により素早く快適な視野探しが可能です。

LV(低真空)機能を2段階に強化

 2段階のLVモードにより、帯電しやすい試料や、微量の水分を含む試料も、前処理無しで観察しやすくなりました。低真空反射電子立体像です。

                                                                                                                                            __________  500μm

SEM観察中にリアルタイムで元素分析が可能

 観察中も常に元素分析結果が表示されるLive Analysis機能を搭載し、効率の良い元素分析が可能


SEMなのに凹凸形状の検出が可能

 Live3D機能によりSEM観察しながらその場で3D像構築し凹凸・深さ情報の取得が可能

事例紹介

・タングステン電極写真
  ▷タングステン電極の形状と元素マッピング結果

    タングステン電極 観察


・レジストプロファイリング
  ▷レジストパターンの形状


   ▷Live 3D画像


関連リンク

・さらに豊富な観察例・製品情報は JEOL(日本電子)のWebサイトをご覧ください。
  https://www.jeol.co.jp/products/detail/JCM-7000.html

 

搭載光源