オールインワン オンサイト卓上検査装置
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ハイスループットでありながら、省スペースかつシンプルで使いやすい操作性を実現した日本電子製卓上SEM（JCM-7000）です。光学カラー画像からSEM観察像へのシームレス（継ぎ目の無い）操作が可能なだけでなく、SEM観察しながらリアルタイムで元素分析が可能です。
光学顕微鏡では困難な「組成の異なる異物の検出」、「透明な物質の表面観察」、「元素分析」を製造現場で実現します。
・モーターステージを標準搭載
2軸モーターステージ（X,Y）により、観察したい場所をマウス操作でクリックすれば自動でステージが移動します。
・新開発のSNS(ステージナビゲーションシステム※オプション)で光学像の取り込みが自動化
色情報を含むCCD画像と表面詳細情報が得られるSEM像が連動するZeromag機能により素早く快適な視野探しが可能です。
・LV(低真空)機能を2段階に強化
2段階のLVモードにより、帯電しやすい試料や、微量の水分を含む試料も、前処理無しで観察しやすくなりました。低真空反射電子立体像です。
__________ 500μm
・SEM観察中にリアルタイムで元素分析が可能観察中も常に元素分析結果が表示されるLive Analysis機能を搭載し、効率の良い元素分析が可能 |
・SEMなのに凹凸形状の検出が可能
Live3D機能によりSEM観察しながらその場で３D像構築し凹凸・深さ情報の取得が可能
事例紹介
・タングステン電極写真
▷タングステン電極の形状と元素マッピング結果
タングステン電極 観察
・レジストプロファイリング
▷レジストパターンの形状
▷Live 3D画像
関連リンク
・さらに豊富な観察例・製品情報は JEOL(日本電子)のWebサイトをご覧ください。https://www.jeol.co.jp/products/detail/JCM-7000.html