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硬化装置の検索結果

製品名 製品説明 主な用途・分野 波長
紫外線ホトレジスト硬化装置「ユニハード®」 紫外線ホトレジスト硬化装置「ユニハード」 紫外線照射装置として、LSI製造ラインで採用されている紫外線ホトレジスト硬化です。 超高圧UVランプ、エキシマランプ を搭載し、ドライエッチング時の耐プラズマ性の向上、イオン注入時のレジスト脱ガスおよび焼きしめ、電荷の消去、ストレスイレース、Low-kキュアなど、さまざまな用途で活用されています。
チャージイレース装置 チャージイレース装置 強力な深紫外線照射により、EPROM、フラッシュメモリなどの電荷を除去。各種プラズマプロセスで問題となるチャージングを消去します。
紫外線瞬間乾燥装置「ユニキュア®システム」 紫外線瞬間乾燥装置「ユニキュアシステム」 ハイパワー、コンパクト、低温処理を実現するUV硬化・乾燥装置です。目的に応じて、ランプやUV強度、照射幅などのコンポーネントが可能です。 取扱説明書はこちら (会員登録が必要です)
LEDスポットUV照射装置 「SPL-2」 LEDスポットUV照射装置 「SPL-2」 30年以上の実績を持つスポットキュアシリーズのLEDタイプです。今までに培ってきた光学技術を生かし、従来LED式では実現できなかった課題を解決。お客様のニーズに合わせた照射をご提案いたします。
スポットUV照射装置 「スポットキュア®シリーズ」 スポットUV照射装置 「スポットキュアシリーズ」 約30年間にわたり培ってきた光システム技術を活かした「スポットキュア シリーズ」は、使いやすさを追求し、さらに環境にも配慮。ラインやワークの条件に合わせ、レンズやユニットなどもオプションも豊富に取り揃えています。 取扱説明書やトラブルシューティング、外観図CADデータはこちら (会員登録が必要です)

『塗布と塗膜』2015年11月号 PDF(2.31MB)

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