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紫外線ホトレジスト硬化装置「ユニハード」 |
紫外線照射装置として、LSI製造ラインで採用されている紫外線ホトレジスト硬化です。
超高圧UVランプ、エキシマランプ を搭載し、ドライエッチング時の耐プラズマ性の向上、イオン注入時のレジスト脱ガスおよび焼きしめ、電荷の消去、ストレスイレース、Low-kキュアなど、さまざまな用途で活用されています。
本製品は2023年9月末日をもって新規装置の受注を終了させていただきます。
2035年9月末までは、ランプユニット、ホットプレート等の主要保守・消耗部品につきましては、提供に問題ない体制を準備する予定です。
詳細はこちらをご覧ください
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チャージイレース装置 |
強力な深紫外線照射により、EPROM、フラッシュメモリなどの電荷を除去。各種プラズマプロセスで問題となるチャージングを消去します。
本製品は2023年9月末日をもって新規装置の受注を終了させていただきます。
2035年9月末までは、ランプユニット、ホットプレート等の主要保守・消耗部品につきましては、提供に問題ない体制を準備する予定です。
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スポットUV照射装置 「SP-LED-3」 |
世の中のニーズである「安価」、「使いやすさ」、「水銀レス」を追求したLEDタイプのスポットキュア。
ヘッドの種類はΦ3mm～Φ10mmまで取り揃えており、必要なエリアへの照射が可能です。
取扱説明書はこちら（会員登録が必要です）
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