感光性錯体パターニングによる無電解銅メッキパターン 改質硬化・接着露光 液晶・ディスプレイ半導体MEMS・電子部品プリント基板・PKG Deep UV波長領域に吸収のある感光性錯体をシード層とした無電解銅メッキパターンの例。 （データ提供協力：関東学院大学 材料・表面工学研究所様/株式会社JCU様） 関連製品 多目的均一照射ユニット「Deep UV マルチライト」
