耐熱性向上例 洗浄硬化・接着改質 半導体 UVハードニング処理を行うことにより、250℃ 5minでもレジストが溶解しない。 UVハードニング処理を行っていない場合は、150℃ 5minでレジストが溶解してしまう。 関連製品 紫外線ホトレジスト硬化装置「ユニハード」