SAMパターニング 露光改質 光学液晶・ディスプレイバイオ・化学自動車・船舶半導体MEMS・電子部品プリント基板・PKG印刷 撥水性のSAM(自己組織化単分子膜)上にフォトマスクを介しVUV光を照射。VUV照射領域に親水パターンを形成。親水領域にのみ導電性ナノインクを塗布することで5umL/Sを形成。 SAM膜上での導電性Agナノインクパターン(20um Gap) 関連製品 プリンタブル パターニング用光源ユニット 「VUVアライナー」