AHAPS-SAMのパターニング 改質露光 バイオ・化学自動車・船舶液晶・ディスプレイ光学MEMS・電子部品印刷プリント基板・PKG半導体 AHAPS-SAMにフォトマスクを介してVUV照射後、蛍光色素(TAMRA)にてパターン部を可視化。 ※AHAPS:正式名 N-(6-aminohexyl)-aminopropyltrimethoxysilaneN-(6-アミノヘキシル)アミノプロピルトリメトキシシラン 【蛍光観察像】 VUV照射 2分 N2雰囲気 10nmSiO2(熱酸化膜)/Si 蛍光染色TAMRA 関連製品 プリンタブル パターニング用光源ユニット 「VUVアライナー」