微細加工プロセス

fine processing process，fine pattern lithography,micro machining びさいかこうぷろせす

解説

微細加工プロセスとは、半導体やマイクロマシン、MEMSなどの微細な加工を行うプロセスのこと。
代表的なものにフォトリソグラフィ技術、荷電ビームプロセス、ナノインプリント技術、レーザ精密微細加工、機械加工の延長などがある。