コンタクト露光

コンタクト露光とは、マスク（レチクル）とワーク（試料）を接触させて露光する方式のこと。接触露光とも言う。

※コンタクト露光で、真空圧着によってマスクとワークの接触を強固に行うものをハードコンタクト、吹付圧着で多少ゆるやかに接触するものをソフトコンタクトと呼ぶ。