解像力

解像力とは、レンズや感光材料などの性能を表す量の一つのこと。
露光用レンズでは、MTF曲線で一定のコントラスト再現率となる空間周波数ｆ（本／μm）を求め、周期の半分に相当するパターン線幅（＝1000／（2ｆ）μm）で表現する。

露光用レンズの解像力は、開口数（NA）と波長に依存し、一般式は以下となる。
　解像力＝k×波長／開口数
　 ｋ：感光材料、レンズ特性、プロセス条件などによって変わる定数