解像力

resolving power,resolution かいぞうりょく

解説

解像力とは、レンズや感光材料などの性能を表す量の一つのこと。
露光用レンズでは、MTF曲線で一定のコントラスト再現率となる空間周波数f(本/μm)を求め、周期の半分に相当するパターン線幅(=1000/(2f)μm)で表現する。

露光用レンズの解像力は、開口数(NA)と波長に依存し、一般式は以下となる。
 解像力=k×波長/開口数
  k:感光材料、レンズ特性、プロセス条件などによって変わる定数