μTAS接着装置
μTAS bonding system（using a vacuum UV ray）
まいくろたすせっちゃくそうち
解説
μTAS接着装置とは、μTAS（Micro Total Analysis Systems）チップの装着工程1)で使用される接着装置のこと。172nmを主波長に持つエキシマランプが搭載されている。
1） 医療・バイオ分野におけるゲノム解析や、環境分野における化学物質検出などで使用されるμTASチップは、数mm ～数cm角の基板上に、MEMS技術を用いて、微細な流路や微小な反応室、混合室などが集積されており、一連の化学操作を短時間に効率的に行う生化学分析デバイスである。
このチップの装着には「洗浄」、「表面活性」、「貼り合わせ」、「加圧」の4つの処理工程があり、それぞれに専用の装置が使われているが、μTAS接着装置はこれらの工程を1台で処理する。これによって、初期の開発段階でのコスト面、スペース面の課題の解消をはじめ、洗浄と表面活性を薬品やプラズマに換わって真空紫外光で行うことから、材料のダメージの抑制を図り、欠陥要因の軽減化が可能となった。
※MEMS／ナノテク、バイオ分野のデバイス分野においても、μTAS接着技術の応用が期待されている。
※μTAS接着装置はウシオ電機の製品名。
