ナノマシニング

ナノマシニングとは、nmオーダーのデバイスを実現するための加工技術のこと。
mmからμmオーダーのマイクロマシニングに対して、nmオーダーのナノマシニングは、分子レベルの制御によって微細構造をつくる。
原子間力顕微鏡（AFM）、走査型トンネル顕微鏡（STM）、自己組織化プロセスなどを応用し、原子を積み上げてナノスケールの極微細構造（ナノマシン、ナノメカニクス）をつくり、超高感度なセンサや高速応答するセンサなどの実現を可能にする。
→マイクロマシニングを参照。