SEMI規格（SEMIスタンダード、SEMI国際標準）
SEMI standards、Semiconductor Equipment and Materials International standards
せみきかく（せみすたんだーど、せみこくさいひょうじゅん）
解説
SEMI規格とは、半導体の製造機器メーカー、フラットディスプレイ（FPD）製造装置メーカー、材料メーカーなどの国際的な業界団体であるSEMI（Semiconductor Equipment and Materials International）がFPDを含む半導体産業の国際工業規格の統一を目的に定めた規格のこと。
半導体やFPDの製造装置（Equipment Automation／Hardware & Software）、設備（Facilities）、ガス（Gases）、材料（Materials）、マイクロリソグラフィ（Microlithography）、パッケージング（Packaging）、プロセスケミカル（Process Chemicals）、安全ガイドライン（Safety Guidelines）、シリコンマテリアル＆テスト方法（Silicon Materials & Process Control）、トレーサビリティ（Traceability）などについて定めている。