LED方式平行光UV照射ユニット　UV-LED Multi

「LED方式多目的平行光ユニット」は、ウシオ独自のLED光学技術を用いて作られた、
i,h,g線それぞれを点灯・調光制御可能な平行光光源です。様々なアプリケーションにて、
LED光を用いた、新たなプロセス実現の研究・開発にて、大いに貢献します。

・高照度　　

　ウシオ独自開発のモジュール設計技術を駆使し、LEDの持つ輝度を最大限利用。
　uLMLはランプ方式のマルチライト：500Wタイプ製品相当の輝度が実現。

　モジュールの光学設計技術、最適配置された複数のLED光を重畳する光学系を採用し、
　LEDの個体差や寿命末期における経時変化があっても、照射面均一度への影響を
　最小限に抑えることに成功。　　

　i線、h線、g線それぞれの波長で調光が可能。
ランプ方式とは違い、フィルタレスで分光強度分布を変更可能。
さらに、10～100％の調光レンジを駆使し、独自のレシピで露光が実現。

シャッターではなく、LEDのON/OFFで露光を制御。
ワークへの露光時のみの点灯で稼働時の点灯時間を大幅削減し、光源を長寿命化。
また、稼働時の発熱量を大幅削減。

露光（LED／パワーデバイス／各種センサー／レジスト評価／チップバンプ／MEMS/マイクロ流体チップ）

その他、UVキュア、検査用光源,ナノインプリンター

照射光学ユニット型式	照射径 Φ [mm]	LSU別照度 [mW/cm²]			照度均一度 [%]	視角 [°]	照射方向	露光面位置 [mm]	WD [mm]	外形寸法 [mm] （ネジ等を除く）			重量 [kg]
		LSU 365	LSU 405+436							幅	幅	高さ	LSU 1灯式	LSU 2灯式
		i線	h線	g線						幅	幅	高さ	LSU 1灯式	LSU 2灯式
PM50C-125A1	125	66	42	37	± 5	1.9	下方照射	227	181	300	482	599	約19	約22
PM50C-160A1	160	43	27	23	± 5	1.5		323.5	235.5	300	526	637	約20	約23
PM50C-200A1	200	28	17	14	± 5	1.2		476.5	295.5	300	617	657	約22	約25