LED方式平行光UV照射ユニット UV-LED Multi
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「LED方式多目的平行光ユニット」は、ウシオ独自のLED光学技術を用いて作られた、
i,h,g線それぞれを点灯・調光制御可能な平行光光源です。様々なアプリケーションにて、
LED光を用いた、新たなプロセス実現の研究・開発にて、大いに貢献します。
・高照度
ウシオ独自開発のモジュール設計技術を駆使し、LEDの持つ輝度を最大限利用。
uLMLはランプ方式のマルチライト：500Wタイプ製品相当の輝度が実現。
・高均一性
モジュールの光学設計技術、最適配置された複数のLED光を重畳する光学系を採用し、
LEDの個体差や寿命末期における経時変化があっても、照射面均一度への影響を
最小限に抑えることに成功。
・高いUsabilty
i線、h線、g線それぞれの波長で調光が可能。
ランプ方式とは違い、フィルタレスで分光強度分布を変更可能。
さらに、10～100％の調光レンジを駆使し、独自のレシピで露光が実現。
・低TCO省エネ
シャッターではなく、LEDのON/OFFで露光を制御。
ワークへの露光時のみの点灯で稼働時の点灯時間を大幅削減し、光源を長寿命化。
また、稼働時の発熱量を大幅削減。
LED方式多目的平行光ユニットは、製品ラインナップ以外のカスタム製品対応も可能となっておりますので、お気軽にお問合せ下さい。
[カスタム対応例]
❶g線のみの平行光ユニットが欲しい
❷8inchのウェハーが十分に照射できるサイズの照射エリアが欲しい
❸水冷方式でも可能な生産ラインなので、もっと高照度のLED平行光が欲しい
