極端紫外放射

extreme ultraviolet radiation きょくたんしがいほうしゃ

解説

概ね、波長で1～100nm程度の範囲の紫外放射のこと。
「極紫外」と言うこともある。半導体の露光分野では、波長13.5nmの光を「極紫外」もしくは「極端紫外」と言う。