σ

σとは、照明系の開口数（NA）と結像レンズの開口数（NA）の比であり、下式で表わされる。

σ＝照明系開口数（NA）／結像レンズ物体（マスク）側開口数（NA）

σを小さくすることで、実用解像領域でのコントラスト（MTF）を向上でき、一般的に解像力がアップするメリットがある。反面、照度や照度均一度が低下するデメリットもある。