σ

sigma しぐま

解説

σとは、照明系開口数(NA)と結像レンズの開口数(NA)の比であり、下式で表わされる。

σ=照明系開口数(NA)/結像レンズ物体(マスク)側開口数(NA)

σを小さくすることで、実用解像領域でのコントラスト(MTF)を向上でき、一般的に解像力がアップするメリットがある。反面、照度や照度均一度が低下するデメリットもある。