投影露光

projection exposure とうえいろこう

解説

投影露光とは、マスク(レチクル)の像をレンズなどの光学系を用いてワーク(試料)に投影させ、露光する非接触の露光方式のこと。プロジェクション露光とも言う。
プロジェクション露光を参照。