投影露光 projection exposure とうえいろこう 解説 投影露光とは、マスク(レチクル)の像をレンズなどの光学系を用いてワーク(試料)に投影させ、露光する非接触の露光方式のこと。プロジェクション露光とも言う。→プロジェクション露光を参照。 関連用語 光学系プロジェクション露光露光 関連製品 関連URL 付属資料 用語50音一覧 あ行 か行 さ行 た行 な行 は行 ま行 や行 ら行 わ行