プロジェクション露光

projection exposure method ぷろじぇくしょんろこう

解説

プロジェクション露光とは、マスク(レチクル)の像をレンズなどの光学系を用いてワーク(試料)に投影させ、露光する非接触の露光方式のこと。投影露光とも言う。

プロジェクション露光には、投影光学系の違いにより、レンズプロジェクション露光ミラープロジェクション露光の2種類がある。これらはマスクとワークが非接触なため、両者のダメージが非常に少ないほか、縮小光学系(例えば、マスクの原画のサイズが5に対し、ワークの像のサイズが1の場合、これを5:1縮小系と言う。投影倍率5:1とも言う)を用いることで、マスクの像の精密転写が可能など、大きな特長を備える。
レンズプロジェクション露光ミラープロジェクション露光を参照。