レンズプロジェクション露光

レンズプロジエクション露光とは、レンズ光学系を用いて、マスク（レチクル）の像をワーク（試料）に投影（プロジェクション）する露光方式のこと。

アライナの露光方式の一種で、非接触露光のプロジェクション露光（投影露光）の一種である。
→アライナ（アライナー）、プロジェクション露光、ミラープロジェクション露光を参照。