レンズプロジェクション露光

lens projection exposure れんずぷろじぇくしょんろこう

解説

レンズプロジエクション露光とは、レンズ光学系を用いて、マスク(レチクル)の像をワーク(試料)に投影(プロジェクション)する露光方式のこと。

アライナの露光方式の一種で、非接触露光のプロジェクション露光投影露光)の一種である。
アライナ(アライナー)プロジェクション露光ミラープロジェクション露光を参照。