ミラープロジェクション露光

ミラープロジェクション露光とは、ミラー光学系を用いて、マスク（レチクル）の像をワーク（試料）に投影（プロジェクション）する露光方式のこと。
アライナの露光方式の一種で、非接触露光のプロジェクション露光（投影露光）の一種である。

→アライナ（アライナー)、プロジェクション露光、レンズプロジェクション露光を参照。