光微細加工

光の干渉によって生じた光の強弱を露光のパターニングを行っています。波面を高精度に制御することで高精度な露光を実現しています。

光学系を傾けることで、斜めの構造を作ることができます。
自由で安定したシステムにより、様々な評価が可能です。

ウェーハの回転角度を変えながら露光を精密に行うことで、
ドットパターンを作成することができます。
ウェーハの回転角度を変えることで、
四角形や六角形のアレイを作ることができます。

二光束干渉露光を用いることによって、波長オーダーのサブミクロンパターニングが可能です。
150nmのピッチまで対応可能です。

ステップ＆リピート露光の露光境界を完全に消すことができます。
目視でもシームレスなパターニングがφ8inch全面に露光できます。

焦点深度に換算するとmmオーダーでパターニングが可能です。
平面度・平坦度の制約を超えた加工を実現します。