透過型回折格子 サブミクロンピッチによる大きなAOIと、形状調整加工による広帯域で高効率を特徴とするOCTや光通信向けの透過型回折格子
透過型回折格子の使用用途例
OCT用回折格子
OCT向けに適した回折格子
・広帯域に高い回折効率
・高いスペクトル対称性
・少ない偏光依存性
光通信用回折格子
光通信用に適した回折格子
・通信波長に最適化した設計
・少ない偏光依存性
・石英基板のためGRISMに適した構造
ウシオの透過型回折格子の特徴
性能
ウシオの特徴
・広帯域で高効率
・スペクトル対称性
・少ない偏光依存性
・触っても壊れない
（取り回し・清掃）
高性能を支える加工技術
ウシオの加工技術
・サブミクロンピッチの加工
・ハイアスペクトな構造
・テーパー制御
主な仕様
| 項目 | 詳細 |
|---|---|
| 形状 | 周期構造（グリッド、ドット、ホール） |
| ピッチ | ＞150nm |
| ライン幅 | ピッチに対して 30〜50％ |
| パターン高さ | 〜200nm |
| アスペクト比 | ≦3 |
| ショット間つなぎ目 | 無し |
