ウシオの微細加工とは

エレクトロニクス、映像、ライフサイエンス向け当社装置に搭載する光学素子（ワイヤーグリッド偏光板、
フォトニック結晶付き光源、波長変換素子、マイクロレンズアレイ等）における、設計・シミュレーション・
露光（マスクレス露光、投影露光、直接描画露光）・量産・評価の各技術をベースに、プロセス開発から
量産対応まで自社内で全て対応いたします。
これらの光学素子は、全て自社保有の露光技術（マスクレス露光、投影露光、直接描画露光）により
実現されています。

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