波長板一体型MEMSミラー 干渉露光技術を応用した微細加工技術によりMEMSミラー表面に位相差板を実装した光学素子
MEMSミラー加工事例
一体型波長板による偏光変換
MEMSミラー(Micro Electrical Mechanical System
mirror)の表面にメタサーフェスを用いた波長板を実装できます。
このミラーは、反射の際に通常であれば保存される入射光の偏光を回転させて反射します。
λ/2板（HWP: Half Wave Plate)を実装すれば入射TE偏光を反射TM偏光として出力できる小型の反射型位相差板になります。
波長板の光学特性
反射率
金属アルミニウムベースの金属グリッド構造を最適化しました。
450 nm～650 nmの可視域で非偏光の反射率は約70%です。
位相差
450 nm～650 nmの可視域における位相差は約180°であり、1/2波長板として機能します。
主な仕様
| 項目 | 詳細 | |
|---|---|---|
| 光学特性 | 波長域 | 450 nm～650 nm 可視域 |
| 位相差 | 180° ±20° | |
| 反射率 | TE:62% ±5%, TM:75%±5% (450 nm～650 nm) | |
| 形状・寸法 | ウエハサイズ | 8 inch (JEITA) |
| 厚さ | 0.72 mm | |
| MEMSミラー | ミラーサイズ | 長径:1.0 mm, 短径:0.8 mm |
| 波長板有効径 | 長径:0.9 mm, 短径:0.7 mm | |
| 素子サイズ | 5.0 x 6.0 mm |
