Deep UVランプ

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キセノンランプをベースに水銀などの金属蒸気を封入した高輝度・点光源のランプです。
230nm~320nm付近の遠紫外域の放射に特徴があり、短波長を利用した光化学反応、UVキュアリング、リソグラフィなどで活用されています。

短波長域で高エネルギー
クセノンランプのUV域から赤外域までの連続したスペクトルと、超高圧UVランプのUV域での高エネルギーをあわせ持ったランプです。超高圧UVランプに比べ、400nm未満の短波長域での放射量が多いランプです。
高輝度・点光源
集光、均一照射など、光学制御に適した高輝度点光源です。
分光分布図
光化学反応リソグラフィ
UVキュアリング
など

型式 定格ランプ入力(W) ランプ電圧(V) 水平放射照度(μW/cm2) 全光束(lm) 冷極間(mm) 平均寿命(h) 製品仕様
210~300nm 360~370nm
UXM-501MD 500 25±2 280 180 20000 3 600 PDF319 KB

※1mW/cm2 =1,000μW/cm2

搭載光源