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半導体の検索結果

製品名 製品説明 主な用途・分野 波長
エキシマランプ/エキシマ光照射ユニット エキシマランプ/エキシマ光照射ユニット

エキシマVUV光は希ガスや希ガスハライド化合物のランプから生みだされる非常にエネルギーの高い光です。

希ガスや希ガスハライド化合物のガスが封じられたランプに外部から高いエネルギー電子を与えると放電プラズマ(誘電体バリア放電)が多数発生します。このプラズマは高いエネルギー電子を包含しており、かつ瞬時に消滅するという特徴を持っています。このプラズマ放電により、放電ガス(希ガス)の原子が励起され、瞬間的にエキシマ状態(Xe)となります(エネルギーの高い軌道原子に励起され、エキシマ励起分子になります)。このエキシマ状態から元の状態(基底状態)に戻るとき、そのエキシマ特有のスペクトルを発光します。この光をエキシマVUV光と呼んでいます。

表面処理用エキシマ照射装置のご紹介

■取扱説明書や仕様書はこちら(会員登録が必要です)

可視化用シートビームレーザー光源 赤色レーザーダイオードの光を直接用いた新発想の流体可視化用ハイパワーシートビームレーザー光源です。 高速度カメラとの組合せで、流速の空間分布を得ることができます※1。 レーザーダイオードの光を直接使うので、従来使用されているDPSSレーザー※2に比べ、ハイパワーながら低価格、低消費電力を実現しました。 自動車、航空機はもとより、建設、空調機器、半導体製造装置、医療機器等においても、空間的な流れの理解・把握はエンジニアリング上欠かせないものとなっています。 ※1 解析方法により、 PIV (Particle Image Velocimetry), PTV (Particle Traking Velocimetry) と呼ばれる流体解析に広く使われる手法です。 ※2 Diode Pumped Solid State。波長変換による可視光域レーザーです。
LED方式平行光UV照射ユニット UV-LED  Multi 「LED方式多目的平行光ユニット」は、ウシオ独自のLED光学技術を用いて作られた、 i,h,g線それぞれを点灯・調光制御可能な平行光光源です。様々なアプリケーションにて、 LED光を用いた、新たなプロセス実現の研究・開発にて、大いに貢献します。
test オールインワン オンサイト卓上検査装置 ハイスループットでありながら、省スペースかつシンプルで使いやすい操作性を実現した日本電子製卓上SEM(JCM-7000)です。光学カラー画像からSEM観察像へのシームレス(継ぎ目の無い)操作が可能なだけでなく、SEM観察しながらリアルタイムで元素分析が可能です。 光学顕微鏡では困難な「組成の異なる異物の検出」、「透明な物質の表面観察」、「元素分析」を製造現場で実現します。
ウシオの光加熱(サーマルプロセス)ソリューション ウシオのサーマルプロセス向け光加熱製品(ハロゲンランプヒータ、フラッシュランプ、LEDユニット)および関連技術をご紹介しています。
ウシオのレーザーモジュール レーザーに様々な機能を付加したレーザーモジュール製品をラインナップしています。 またスタンダード製品をベースにしたカスタムにより最適なソリューションを提供いたします。
高輝度白色光発生技術(LDP)とは? ウシオの高輝度白色光発生技術(Laser Diode pumped Phosphor: LDP)はレーザダイオードと蛍光体の組合せで、LEDを大きく上回る輝度の白色光を発生させる技術です。 独自の高効率・高耐候蛍光体と最新のレーザーダイオードの組合せにより白色LEDのおよそ5倍の輝度を達成。高輝度ランプ並みの輝度と固体光源ならではの長寿命、パルス点灯可能などの特徴を兼ね備えた光源です。 レーダーダイオード、蛍光体、光学系をコンパクトにまとめた「モジュール製品」を標準ラインナップしています。
マルチカラーレーザーモジュール Novalumの波長カスタム Novalumシリーズは複数LDの搭載により多波長・ハイパワー出力を実現したモジュールです。搭載する波長は375nm~1075nmの範囲でご用途に合わせて組合せカスタムが可能です。ご希望の複数波長のレーザー光を1本の光ファイバーから出力できます。各波長独立制御も可能で、あらゆるご用途のレーザー照明を実現します。各波長で得られる出力(LD1個当たり)についてはデータシートをご覧ください。
高輝度白色光発生技術「LDP」の特長は? ウシオのレーザ励起蛍光光源(LDP)の特性は放電ランプとLEDの「いいとこどり」をしたものと言えます。ランプと同等の輝度とLEDの特徴である高効率・瞬時点灯性・パルス点灯性・長寿命等を併せ持っています。 レーダーダイオード、蛍光体、光学系をコンパクトにまとめた「モジュール製品」を標準ラインナップしています。
ウシオの固定式蛍光体プレート レーザ励起蛍光光源(LDP)の蛍光体は冷却を目的として回転ホイール式が使われることがほとんどです。一方ウシオのLDPは独自の固定プレート式を採用。完全振動フリー、究極のコンパクトネス、高い防塵性を実現しています。固定式で問題となる排熱と光取出し効率の問題を独自のプレート構造でクリアし、高輝度・高出力白色光の発生を実現しています。 レーダーダイオード、蛍光体、光学系をコンパクトにまとめた「モジュール製品」を標準ラインナップしています。
高輝度白色光だからできること LEDの5倍の輝度を発生するレーザ励起蛍光光源(LDP)は光学系との組合せにより、LEDでは実現できない様々な使い方が可能です。その一つは光ファイバ導光。特にLEDが不得意な細径光ファイバ導光を遥かに高い効率で実現可能です。またLDPは質の良い平行光の発生も得意。これらの特長活かしたアプリケーションが広がっています。 レーダーダイオード、蛍光体、光学系をコンパクトにまとめた「モジュール製品」を標準ラインナップしています。
高輝度白色光のアプリケーション レーザ励起蛍光光源(LDP)はその高輝度光の特性を活かした様々な用途に展開しています。インダストリアル用途における各種検査照明や耐光性試験、ファイバスコープといった用途や照明の中でもサーチライトや船舶照明、ファイバライティングといった特殊照明用途への応用が図られています。さらにバイオメディカル用途では高効率ファイバ導光が可能であることから各種内視鏡、顕微鏡用途に最適です。
15,000ルーメン高輝度白色光源モジュール ウシオの高輝度白色光発生技術(Laser Diode pumped Phosphor: LDP)を用いた汎用の高輝度白色光源モジュール。レーザーダイオード、蛍光体、光学系をコンパクト(160×125×100mm)な筐体にパッケージング。各種機器への組込み用に最適です。最大15,000lmの高輝度・大光量白色光を出力します。高照度照明、サーチライト、ファイバ光源などに最適な光源です。
スペクトル設計自在なLDP+LEDハイブリッド光源 レーザーを用いた高輝度白色光源(Laser Diode pumped Phosphor: LDP)とLEDの出力を同軸合成・出力するモジュール/システム。LEDは最大4波長から選択でき、高輝度なLDPの光と合成して出力します。高輝度に加えて演色性や特定波長の出力が必要な用途に適しています。光源モジュールの形態に加え、駆動ドライバ・冷却・操作パネルも備えた光源システムでのご提供も可能です。
超小型高輝度白色光源 レーザーを用いた高輝度白色光源の超小型バージョンです。Φ18×20mmのコンパクトなパッケージから最大1000ルーメンの白色光を出力します。輝度は白色LEDのおよそ5倍。細径ファイバーを用いた照明や極小エリアへの集光照明など、白色LEDでは得られない照明をLED同等の実装しやすさで実現可能です。さらに蛍光体ブレンディング技術により様々な色温度(約3000K-10000K)・演色性の白色光を得ることができます。
分割投影露光装置「UX-5シリーズ」 分割投影露光装置「UX-5シリーズ」

ウシオでは、サーバーやPC、スマートフォン、タブレット端末等の携帯機器に採用される最先端パッケージングアプリケーションに特化したステッパーを提供してきました。ウシオが長年培った光源・光学技術に独自の大面積投影レンズ技術を用い、パネルサイズに対応したステージを用いたパッケージ基板向けステッパーです。最先端パッケージ基板に求められる高い解像性や重ね合せ精度を実現しつつ、高生産性を達成しています。

【要素技術】
・世界シェアNo.1の超高圧UVランプ搭載 ・高い均一度を誇る独自の照射光学系 ・他に類を見ない大面積投影レンズ ・基板特有の歪に対応したアライメント技術

投影露光装置「UX-4シリーズ」 投影露光装置「UX-4シリーズ」

ウシオが長年培った光源・光学技術に独自の大面積投影レンズ技術を用いたプロジェクションアライナーです。8インチまでのウェハをマスクと非接触で一括露光することが可能です。広い焦点深度を用いた平らでないウェハに対する露光を可能にし、プロキシミティアライナーには無い高生産性、高歩留りを達成します。

【要素技術】
・世界シェアNo.1の超高圧UVランプ搭載 ・高い均一度を誇る独自の照射光学系 ・他に類を見ない大面積投影レンズ

プロキシミティ露光装置「UX-3シリーズ」 プロキシミティ露光装置「UX-3シリーズ」 本製品は生産終了となりました。 プロキシミティ露光装置「UX-3シリーズ」生産終了のご案内(396KB)
代替品はこちら→オート機

ウシオが長年培った光源・光学技術を用いたマスクアライナーです。ihg線のみならず、Deep UV波長帯域にも対応した露光装置です。

【要素技術】
・世界シェアNo.1の超高圧UVランプ搭載 ・高い均一度を誇る独自の照射光学系

マスクアライナー「UX-1シリーズ」 マスクアライナー「UX-1シリーズ」 本製品は生産終了となりました。 マスクアライナー「UX-1シリーズ」生産終了のご案内(396KB)
代替品はこちら→マニュアル機

ウシオが長年培った光源・光学技術を用いたマスクアライナーです。ihg線のみならず、Deep UV波長帯域にも対応した露光装置です。

【要素技術】
・世界シェアNo.1の超高圧UVランプ搭載 ・高い均一度を誇る独自の照射光学系

ロールtoロール投影露光装置「UFXシリーズ」 ロールtoロール投影露光装置「UFXシリーズ」

累積800台以上の市場実績がある、ウシオのフレキシブル基板用プロキシミティ/投影露光装置のラインナップ。専用に開発した高出力ランプ、定評のある光学系技術を駆使した投影レンズにより、高効率で高解像度な露光を実現します。

【要素技術】
・世界シェアNo.1の超高圧UVランプ搭載 ・高い均一度を誇る独自の照射光学系 ・他に類を見ない大面積投影レンズ

EUV光源 (次世代半導体用マスク検査および各種開発用途向け) EUV光源 (次世代半導体用マスク検査および各種開発用途向け) 半導体業界では、より高性能でコンパクト、更に低消費電力の半導体の実現に向け、超微細化露光技術の開発が進められています。その中で有力視されているのが波長13.5nmのEUV(Extreme Ultraviolet)光による「EUV露光」です。 ウシオは、これまで培ってきたEUVの研究・開発実績を活かし、EUV露光用のマスク検査装置向けを始め、各種開発用途向けのEUV Xe DPP およびEUV Sn LDP光源の開発を行なっています。
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