EUV

extreme ultra violet radiation いーゆーぶい

解説

EUVとは、日本語表記で極端紫外放射(極紫外放射)と言い、波長1~100nmの範囲の紫外放射(紫外線)のこと。

近年、半導体分野ではリソグラフィ技術に13.5nmのEUV光源が用いられ、EUV=13.5nmが定着し、このを極紫外光または極端紫外光と言う。
極端紫外(EUV)光源を参照。