インテグレータ光学系 (インテグレーター光学系)

インテグレータ光学系（インテグレーター光学系）とは、照射面への 照度の均一性を高めるために、 インテグレータレンズ(フライアイレンズ)やロッドレンズなどを用いた 光学系のこと。
通常の集光鏡やレンズを用いた光学系では、照射面の照度は、中心は明るく周辺が暗くなったりする。例えば、中心と周辺の照度比が30%程度になったりした場合、インテグレータ光学系では90%以上も改善することができる。

※インテグレータ光学系には、フライアイレンズ方式とロッドレンズ方式がある。
フライアイレンズ方式は、平方形や6角形のレンズを多数敷き詰めた構造のレンズ群を使い、光源像を多数発生させ、少しずつ位置をずらした照明系を重ね合わせた効果で、照射面の照度均一度を改善する。ロッドレンズ方式は、光源から発した光が、円柱形のガラスロッド内で全反射を繰り返すことで、実質的にフライアイレンズと同じ作用をする。

〈 主な用途 〉
• 半導体・TAB・液晶露光装置
• ソーラーシミュレータ
• 液晶・DMDプロジェクタ
• ショートアーク放電ランプやレーザなどの光源応用機器