プロキシミティ露光
proximity exposure
ぷろきしみてぃろこう
解説
プロキシミティ露光とは、マスク(レチクル)とワーク(試料)の隙間を数μmから数十μm程度に設定して露光する非接触の露光方式のこと。この隙間をプロキシミティギャップと呼ぶ。
非接触の露光方式には、プロキシミティ露光とプロジェクション露光(投影露光)の2種類があり、これらはマスクとワークが接触しないため、両者のダメージが非常に少ないと言う特長を備える。これに対して、マスクとワークを接触させて露光する方式をコンタクト露光(接触露光)と言う。
→プロジェクション露光、コンタクト露光を参照。
※プロキシミティ露光は、マスクとワークの間隔が非常に小さいことから、コンタクト露光に含めて分類されることもある。