コンタクト・プロキシミティ露光
contact - proximity exposure method by parallel rays
こんたくと・ぷろきしみてぃろこう
解説
コンタクト・プロキシミティ露光とは、マスク（レチクル）とワーク（試料）を接触もしくは非常に接近させた状態で重ね合わせて平行光を照射し、パターンを露光する方式のこと。
※露光装置で、マスクとワークを接触させて重ね合わせて露光する方式をコンタクト露光（接触露光）と言い、ワークとマスクの間を数μm～数十μm程度離して重ね合わせて露光する方式をプロキシミティ露光と言う。コンタクト・プロキシミティ露光方式は、マスクとワークの間隔が接触～数十μm程度で重ね合わせて、平行光を照射することで精度を高めている。このタイプのよく知られた装置にPLA（キヤノン製のアライナ）１）がある。PLAはコンタクトアライナ、プロキシミティアライナ、マスクアライナなどとも呼ばれる。
→コンタクト露光、プロキシミティ露光を参照。
１）キヤノン株式会社のホームページによれば、1978年にマスクアライナ「PLA-500FA」を発売とある。