深紫外放射

深紫外放射とは、波長域に諸説あるが、概ね250、300、350nm以下の紫外放射のこと。ディープUV（Deep-UV、DUV）とも呼ぶ。
→紫外放射を参照。

※この言葉は、もともとIBM のDr.Lin が使った言葉で、彼の概念では、200～300nm の波長域をさす。この波長範囲（200～300nm）は、概ね230nm から300～320nm の中紫外放射と重なる。