投影レンズ
projector(projection) lens
とうえいれんず
解説
投影レンズとは、試料や画像を投射するレンズのこと。プロジェクションレンズとも呼ばれるほか、投射レンズ、対物レンズ、結像レンズと呼ぶこともある。
プロジェクタやステッパなどで使われるが、レンズのタイプは単レンズからステッパのように20枚以上あるものまで、さまざまである。
通常は結像レンズ系の最後に配置され、中間のレンズで拡大された像をさらに拡大し、ワーク面上に結像させる。2倍から150倍程度の拡大倍率で使われることが多いが、ステッパの場合は1/5から1/4の縮小投影系になっている。
→インテグレータレンズ(インテグレーターレンズ)、コンデンサレンズ(コンデンサーレンズ)、投影露光を参照。
