USHIO

光技術情報誌「ライトエッジ」No.13(1998年7月発行)

第45回応用物理学関係連合講演会

(1998年3月)

CLBOを用いた192nm光の発生
Generation of 192nm coherent using CLBO Crystal

ウシオ総研,阪大・工*…:出来恭一,佐久間純,大迫康,影林由郎,北栃直樹,堀口昌宏,横田利夫,森 勇介*,佐々木孝友*
URIT.Osaka Univ.* K.Deki,j.Sakuma,Y.Ohsako,Y.Kagebayashi,N.Kitatochi,M.Horiguchi,Y.Yokota,Y,Mori*,T.Sasaki*

ArFエキシマーレーザ波長域のコヒーレント光を個体レーザとその波長変換技術を用いて発生することを試みた(図1).Nd:YAG5倍波とOPOからの2.09μmとをType2CLBOを用いて和周波混合することによって波長193nmを得る方式である。10Hz動作で1.3mj/pulseの191.98nm光を得た。

この時,投入した前基本波エネルギーは300mj/pulse,Nd:YAG5倍波31mj/pulse,OPO出力(idler)3.3mjであった。OPO出力波長が1.96μmと読み取れたので全述の終段和周波波長(波長計による計測値)は妥当である。なお,OPOは1064nm pumpingでType2KTAを使用した。図2に192nm光の周波数特性を示す。100Hz動作時に平均出力62mWを得た。しかし,1パルス当たりの出力エネルギーはこの時の10Hz動作の場合に比べ約27%減少した。thermal dephasingの影響と考えられる。Nd:YAG5倍波からの変換効率の改善にはOPOの波長幅,和周波段の波長許容幅,空間的mode matching,optical delayなどの詳細検討が必要である。

図-1

図-2

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